Wuxi Guanya Refrigeration Technology co., ltd
ウェーハテストチラー

ウェーハテストチラー



  • 商品説明


温度制御範囲:-45°C〜250°C;出力範囲:2.5kW〜25kW;温度制御精度:±0.3°C

チップ固有の高温および低温テストボックス過酷な環境向けの半導体電子部品の製造では、ICパッケージングアセンブリとエンジニアリングおよび生産テスト段階に、温度(-85°C〜+200°C)およびその他の環境での電子熱試験が含まれます。 。 シミュレーションをテストします。 これらの半導体デバイスおよび電子製品は、実用化されると、厳しい環境条件にさらされ、厳しい軍事および通信の信頼性基準を満たすことができます。

モデル TES-4525
TES-4525W
TES-4555
TES-4555W
TES-45A10
TES-45A10W
TES-45A15
TES-45A15W
TES-45A25
TES-45A25W
温度範囲 -45℃~250℃
加熱電力 2.5kW 5.5kW 10kW 15kW 25kW
冷凍能力 250℃ 2.5kW 5.5kW 10kW 15kW 25kW
100℃ 2.5kW 5.5kW 10kW 15kW 25kW
20℃ 2.5kW 5.5kW 10kW 15kW 25kW
0℃ 1.8kW 5kW 10kW 15kW 25kW
-20℃ 0.85kW 2.9kW 6kW 11kW 16kW
-40℃ 0.25kW 0.9kW 2kW 3.8kW 5.3kW
熱伝導媒質の温度制御精度 ±0.3℃ ±0.3℃ ±0.3℃ ±0.3℃ ±0.3℃
システム圧力表示 冷房システム圧力は針式圧力計で実現する(高圧、低圧)
循環系の圧力は圧力センサーでタッチパネルに表示されます。
コントローラ シーメンスS 7-1200 PLC、あいまいなPIDの制御アルゴリズムは、シリアルレベルの制御アルゴリズムを備えています。
温度制御 熱伝導媒質出口温度制御モード
外付け温度センサ:(PT 100または4~20 mAまたは通信所与)制御モード(シリアル制御)
プログラム可能 5つのプログラムが作成できます。各プログラムに40段階のステップが作成できます。
通信协议 イーサネットポートTCP/IPプロトコル
設備内部温度フィードバック 設備の熱伝導媒体の輸出温度、媒体の輸入温度、冷凍システムの凝縮温度、環境温度、圧縮機の吸気温度、冷却水温度(水冷設備があります)
外部アクセス温度フィードバック PT 100または4~20 mAまたは通信が与えられています。
ステージ制御時 熱伝導油の出口温度と外付け温度センサーの温度差は制御可能です。
温度差制御機能 装置の液口温度と液口温度の温度差は制御可能(保護システムの安全)に設定できます。
密閉循環システム 全システムは全密閉システムで、高温時にはオイルミストがなく、低温では空気中の水分を吸収しません。システムは運行中に高温のために圧力を上昇させず、低温では自動的に熱伝導媒体を補充します。
熱を加える システム最大の加熱出力電力(各型式による)を指します。
ヒーターは三重保護があります。独立した温度リミッタで、加熱システムの安全を確保します。
10 kW以上の電力は調圧器を採用し、加熱電力出力制御は4~20 mAで線形制御します。
冷凍能力 温度によって熱を持ち帰る能力(理想的な状態)があり、実際の労働状況は環境の放熱を考慮し、適切に拡大し、保温措置を講じてください。
循環ポンプ流量、圧力
max
ドイツブランド磁力駆動ポンプ
20L/min2.5bar 50L/min2.5bar 50L/min2.5bar 110L/min2.5bar 150L/min2.5bar
圧縮機 HIGHLY/Tecumseh Emerson/Danfoss
蒸発器 DANFOSS/KAORI板式熱交換器を採用しています。
冷凍の付属品 Danfoss/Emerson付属品(乾燥フィルター、オイル分離器、高低圧保護器、膨張弁)
操作パネル LNEYAカスタム7インチカラータッチパネル、温度曲線表示\EXCELデータ導出
安全防護 自己診断機能を備えています。フェーズオフ保護器、冷凍機過負荷保護;高圧圧力スイッチ、過負荷リレー、熱保護装置など様々な安全保障機能を備えています。
冷凍剤 R-404A / R507C
インターフェースサイズ G1/2 G3/4 G3/4 G1 DN32 PN10 RF
外形寸法(風)cm 45*85*130 55*95*170 70*100*175 80*120*185 100*150*185
外形寸法(水)cm 45*85*130 45*85*130 55*100*175 70*100*175 80*120*185
風冷型 銅管アルミニウムフィンの凝縮方式を採用し、風型を前面に押し出し、凝縮ファンはEBM軸流風機を採用している。
水冷型 W Wタイプは水冷タイプです。
水冷凝縮器 スリーブ式熱交換器(パリス/沈氏)
冷却水量at20℃ 0.6m³/h
G3/8
1.5m³/h
G3/4
2.6m³/h
G3/4
3.6m³/h
G1
7m³/h
DN40
電源 380V50HZ 4.5kW max 220V 9kW max 16kW max 23kW max 36kW max
電源 460 V 60 HZ、220 V 60 HZの三相カスタマイズができます。
ケース材質 冷間成形板(標準色7035)
隔離爆発防止 カスタム隔離防爆(EXdIIBT 4)
LNEYA防爆製品設置許可証番号:PCEC-2017-B 025
正圧防爆 カスタマイズ可能な正圧防爆(EXPXmbIICT 4)正圧システムは水冷設備でなければなりません。
LNEYA防爆製品設置許可証番号:PCEC-2017-B 025



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